從傅科擺到諧振式陀螺儀
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微機電(MEMS)諧振陀螺儀也許大家並不熟悉,每次我跟人解釋說自己目前在做什麼,都是拿出來手機一歪,屏幕也就跟著翻轉了,能測量這個手機姿態動作的感測器,就叫做微機電陀螺儀。說起來它的原理,其實跟一個著名的科普實驗,傅科擺,都是利用了科里奧利力。
一個單擺,如果大地是靜止不動的,那麼單擺的軌跡在地面上的投影也應該是一條直線。但是由於地球的自轉,它的投影的軌線其實是一個規則的曲線。如下兩圖均來自維基百科。
科里奧利力就是造成這種現象的原因,簡單來說,如果一個物體在xy平面上如果有一個速度v,當z軸上有旋轉的時候,會在xy平面內產生另一個力,如下圖所示。
如果把這個擺看做一個兩自由度的彈簧振子模型,理想情況下,它的數學模型可以表示為
傅科擺是利用了這個系統的自由響應,為了簡化說明,假定x軸上在有一定初速度/位置的情況下,它的運動軌跡如下圖所示
就是一個簡諧振蕩的振子。
當z軸上發生了旋轉的時候,它的軌跡就會發生變化:
如果我們能觀察到它的運動xy軸上的分量,那麼我們就可以反算出這個運動軌跡的相對於xy軸的夾角,我們就得到了一個角度感測器。
儘管這一套理論幾百年前大家就理解了,但是離它變成一個廣泛實用的旋轉類感測器,也就是最近三十年不到的事情,為什麼呢?主要是因為阻尼的存在,傅科擺是一個利用自由響應的系統,當初始能量耗散完了,它也就停機了。
傅科擺的擺線總是很長,根據單擺周期公式
反過來說,線越長,單擺的諧振頻率就越小,大家如果回去翻線性系統的書,阻尼一定的情況下,諧振頻率越小,二階系統的ring down時間就越長。換句話說,線越長,它能震蕩的時間也越久。線越長,體積也就越大,那就很少能有他應用的場合,所以長期以來傅科擺只是用來做科普存在於博物館裡-博物館裡的傅科擺也是有自動充能的,不然不能一直振動下去。在需要姿態測量的應用里,之前一直是飛輪式的陀螺儀在佔據主導位置。
到了90年代左右,微加工技術有了長足的進步,就有人想用微米尺度的振子彈簧系統來做角度旋轉類的感測器,但是想利用自由響應,還是非常之困難,mems的諧振頻率動輒數百數千hz以上,它的自由響應能量在幾個毫秒內就可以耗散完畢了。那麼學博物館裡那種利用控制系做反饋充能的辦法呢?當然理論上是可以,但是由於種種複雜性,這個到目前仍沒有成熟的解決方案(也是我目前的研究方向之一)。大家於是就妥協利用了它的受迫響應。如下圖所示,在兩個自由度上,對一個自由度x上施加一個力不停的激勵它,不停的給它充能,那麼另一個自由度y上一樣也會有對旋轉的感知。只要檢測y方向上的位置變化,一樣可以檢測到旋轉的變化,但是它不再是一個角度感測器,而是一個角速度感測器。
我之前寫過一篇專欄,講的其實就是如何把其中一個模態鎖定到諧振頻率上。
李崇:鎖相環(PLL)在振蕩器中的應用-準備篇它的具體機械形式也不再是球和擺的結構,而是各種各樣的載荷/懸掛、粱、環、碟型的。
mems陀螺儀的特點是便宜,體積小,一個wafer上可以出來成千上萬個陀螺儀,缺點也很明顯,性能遠不如飛輪機械陀螺儀和光學陀螺儀,但是正在逼近光學陀螺儀。另外半球諧振陀螺儀是諧振陀螺儀裡面唯一的高性能產品,但它並非mems工藝,而是屬於大體積的。mems半球陀螺儀也有人做過,由於工藝原因,性能並不理想。
如果想進一步了解mems諧振陀螺儀的,可以參考
MEMS Vibratory Gyroscopes Structural Approaches to Improve Robustness一書。
如果大家感興趣,我可以進一步講講角速度陀螺儀本身的性能限制因素,以及控制系統能對其做什麼。
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