中國半導體公司「瘋搶」光刻機！中芯國際、長江存儲有斬獲

來自專欄 DeepTech深科技

荷蘭設備大廠 ASML 的光刻機是全球半導體客戶前進高端技術、 3D NAND 技術的重要軍火供應來源，正當國內半導體發展高端技術的同時，「國家隊」中芯國際、紫光集團的長江存儲，都陸續獲得 ASML 光刻機的關鍵支援，象徵前往高端半導體技術的道路上，又挺進了關鍵一步！

長江存儲的第一台 193mm 沉浸式光刻機日前已經運到武漢，準備移入長江存儲的 12 寸晶圓廠，售價高達 7,200 萬美元，準備為高端 3D NAND 技術生產做萬全準備，而這只是開端，隨著長江存儲的 3D NAND 技術持續開發，力拚 2019 年進入 64 層 3D NAND 技術，未來在試產和量產的道路上，會需要越來越多的光刻機台加入。

除了長江存儲，中芯國際如火如荼朝高端工藝節點研發，因此，採購 ASML 的光刻機成為當務之急，根據外媒報導，中芯已經向 ASML 購買一台光刻機，價格 1.2 億美元，用來發展高端技術。

過去，國內半導體業者一直認為基於「瓦森納協議」的限制，高科技術的發展受限於不能採購高端機台，但 ASML 一直對外澄清，旗下的極紫外光 EUV 光刻機並沒有此限制，只要大陸半導體廠商購買，會依序出貨。

這次中芯國際訂購一台光刻機，行業內認為是用來技術開發，未來高端技術量產需要的光刻機數量不止於此。

現在最大問題是，現今導體設備的交期非常長，幾乎是產能吃緊，英特爾、台積電、三星等大廠為了力拚 10 納米和 7 納米工藝，幾乎包下絕大多數的光刻機，加上 SK海力士、東芝、美光擴產 3D NAND 產能，也包下不少 EUV 光刻機，未來國內半導體廠遇到的最大問題，會是供應商的交期和產能限制。

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