價值7200萬美元，長江存儲首台光刻機運抵武漢

05-26

集微網消息，長江存儲的首台光刻機已於今天中午運抵武漢天河機場，設備相關的海關、商檢及邊防口岸的相關手續辦理完成後，即可運至長江存儲的工廠。據集微網獨家消息，這台光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機，售價7200萬美元，用於14nm~20nm工藝。這也從側面透露了長江存儲3D NAND快閃記憶體晶元的工藝製程。這是長江存儲的第一台光刻機，陸續還會有多台運抵。

圖：ASML的光刻機安全降落武漢天河機場，正在卸貨中

在今年的4月5日，長江存儲首批400萬美元的精密儀器開始進場安裝，標誌著國家存儲器基地從廠房建設階段進入量產準備階段。據悉，長江存儲已經試產，產業鏈上不少企業都拿到了樣片在測試。如順利，今年四季度，中國首批擁有完全自主知識產權的32層3D NAND快閃記憶體晶元有望實現量產。

紫光集團全球執行副總裁、長江存儲執行董事長高啟全此前接受採訪時曾強調，這僅是剛剛開始。32層3D NAND快閃記憶體晶元量產後，不會上很高的產量，更主要的是完成完全自主技術積累，若技術不夠好，不會硬沖產量。此外64層快閃記憶體產品研發也在迅速進行，力爭2019年底實現產能爬坡量產，這樣就能把與全球領先大廠的差距縮短在2年以內。

紫光集團董事長兼長江存儲董事長趙偉國表示，我們希望5年站穩腳跟，別人沒法把我們打出去，但真正的成功需要10年時間。晶元生產機台搬入。這正如航母舾裝完畢，開始裝配武器彈藥，下一步就要在今年底實現晶元量產，出海遠航。