8軸CT成像運動控制系統

隨著工業CT技術及系統的快速發展和工程應用領域的不斷擴大，對工業CT成像速度和成像精度的要求不斷提高，系統越來越複雜，運動軸數越來越多，對運動控制的要求也越來越高。控制系統是工業CT系統關鍵部分，其性能直接關係著工業CT系統功能和指標。

工業CT系統

工業CT作為當今最佳的無損檢測手段之一，主要由機械掃描子系統、射線源子系統、探測器子系統、數據採集子系統、圖像子系統、計算機子系統等組成。

運動控制系統

工業CT控制系統龐大、控制對象多、信號複雜、其運動軸有8個，分別是分度、平移、插值、分層S、分層D、徑向軸、斷層厚度和準直孔寬度。理論上每個運動軸都可以作為單軸進行獨立控制，到實際使用時需考慮射線源 - 探測器的同步、被檢工件與射線源 - 探測器之間的相對位置、切片厚度以及不同的掃描方式等因素，部分軸需採用同步控制或連續控制。

研發產品

三英精控自主研發的8軸CT成像運動控制系統適合各種功率的X光掃描內部成像系統，也可用於其他光學掃描系統。適用於高精度旋轉掃描，高精度檢測，精細內部結構重構，外部輪廓掃描等場合。

圖樣實際參數：

?三軸樣品台：行程20×100×100，解析度50nm；

?掃描轉檯：行程360°，解析度0.0001°，精度: 0.003°，跳動：4μm，中孔直徑175mm；

?探測器切換平台：行程300mm，解析度50nm， 重複性：0.5μm；

? 其他運動平台：行程150mm，重複性2μm；

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