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半導體自動測試中的硬體設計

一、半導體市場

半導體市場的劃分有很多種說法,一種普遍的說法是可以分為分立器件、光電子、感測器和集成電路四大領域。

1.1分立元件通常有各種類型的二極體,BJT,MOSFET,IGBT(電力電子里的重要原件,大公司比如Fairchild,infineon,Toshiba) 等;

1.2光電子主要是與光學相關的元器件(Opticalchip),其測試方法,條件與普通IC有較大差異,所以一般分開介紹,與之相關的半導體公司有Canon,Nikon等;

1.3新型的感測器 通常包含敏感元件以及信號放大濾波,AD轉換等調理電路,各種類型的感測器感應的物理變化不同,所以存在較大差異。以Fingerprint IC為例,需要在對「指紋」施加一定的壓力條件下測試,這與常用的溫度感測器18B20有著明顯不同的測試條件和方法;

1.4集成電路,即通常所說的IC,在半導體行業所佔的份額最為龐大。功能上,包含microcontroller,memory, PMIC, automotive electronics, wireless等;封裝上,包含DIP,BGA,QFN等;測試條件上,有室溫測試和高低溫測試。

二、半導體自動測試

在ATE行業,測試分為wafertest和finaltest,其區分就是晶元package前後的測試,package前是通過頂針連接到wafer上的die進行測試,package後就是帶有引腳有封裝的chip。

參考《TheFundamentals Of Digital Semiconductor Testing》,可以看到IC測試主要包含三部分:DC test,Functionaltest,ACtest。

2.1 DC test

簡單說就是電壓電流測試,由此引出許多測試項。

  • continuity test即open/short test

  • leakage test避免漏電流過大造成影響

  • High Z leakage test

  • Idd test在不同工作模式下power pin的電流測試:gross test, dynamictest, static test

  • Ios輸出引腳短路(output short)時的電流

  • fan-out電流的source和sink條件下的扇入數和扇出數

  • VOH VOL VIH VIL邏輯0/1條件下輸入輸出電平的worstcase值,注意TTL與CMOS的不同

2.2 AC test

就是測試與時序相關的參數

  • rise time/fall time

  • setup time/ hold time

  • propagation delay

  • minimum pulse width

  • maximum frequency

  • output enable time

  • output disable time

2.3 Functional test

就是輸入一定的時序,查看輸出的矢量是否與預期結果一致,輸入信號的格式有很多種:SBL,RL,STAY等。也會有openshort測試等,不同的是有一個pattern生成器,將相關信息存儲在memory中,加上時間信息組合成waveform,以此驅動相關引腳,最後和相關引腳返回的輸出值做對比,檢測晶元是否正常。

三、硬體設計

簡單總結了IC測試中HW的設計工作。與板卡測試不同,IC測試需要通過一個電路板來連接機台和待測晶元。PCBdesign可以分為4個階段:原理圖設計,布局,layout和Gerber。常用的開發軟體是CadenceHDL,OrCAD,Allegro。

3.1 原理圖

  • 電源設計;

  • 信號調理電路設計;

  • EEPROM電路;

  • 信號切換;

  • 器件選型,BOM;

3.2 布局

3.2.1 基本要求

  • 確認好板子的限高區和禁放區;

  • 確認關鍵器件的location和sideview,比如待測晶元,crystal,connector;

3.2.2 特殊要求

由於一些重要信號有配等長,差分對等要求,布局是需著重考慮。

  • 確認好器件的priority;

  • 特定器件的一致性和對稱性;

  • 大功率的應用場合,考慮器件間的間隔以及散熱。

3.3 Layout

  • Stack up疊層合理對稱;

  • Constraint manger設置,特殊規則設置:total etch length,X-net, pin pair等;

  • 特殊via設置:blind via,back drill,filled via等;

  • 特殊走線:弧形線,微帶線和帶狀線要求;

  • 特殊信號要求:low parasitic capacitance, lowparasitic inductance, 50歐姆阻抗匹配等;

  • 特殊參數要求:SI,PI,EMC要求;

  • 絲印要求

3.4 Gerber

3.4.1 DFX

  • DFM 孔徑比要求,板厚與疊層,pinpitch,線與via的gap等;

  • DFA 波峰焊,迴流焊,人工焊等要求;

  • DFT 增加測試點便於調試

3.4.2 檢查

  • Valor 檢查layout;

  • GC-prevue 檢查Gerber。

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