狠，三星想買斷所有EUV機台 ！|半導體行業觀察

韓媒BusinessKorea昨日報道，三星有意一口氣買下10台單價為1.76億美元的EUV。三星如果真的這樣做，那就會提升其在7nm等先進工藝上的領先優勢。這一方面是由於EUV設備是未來集成電路發展的關鍵，另一方面則在於三星如果真能買下10台，那麼台積電、Intel和格芯等廠商則會面臨幾乎未來一年內無EUV設備可買的風險。

因為根據EUV設備唯一供應商——荷蘭ASML的消息顯示，他們每年大概能生產12台EUV設備。考慮到三星之前已經快對手一步購入了一些EUV設備，使得韓媒做出了這樣的猜測。但三星的計劃真的得逞嗎？

巨頭們的EUV布局，未來勝負的關鍵

在摩爾定律的指導下，經曆數十年發展的集成電路開始面臨瓶頸：工藝製程進入10nm之後，過往的可見光光刻技術似乎不能應對如此小的溝通，因此業界將目光投向了EUV（極紫外光）光刻。

利用這種波長為13.4nm的光源打造的EUV光刻設備能夠在晶圓上刻上先進工藝所需的電路。於是包括台積電、三星、Intel和格芯在內的幾大先進晶圓代工廠都將目光投向了這個設備，並說出了他們在EUV光刻機上的布局和規劃：

首先在台積電方面，雖然台積電他們透露已經在7nm研發上使用了7nm工藝，並實現了EUV掃描機、光罩和印刷的集成。但根據台積電聯席CEO 劉德銀在2016年的某會議上的演講透露，台積電方面認為EUV光刻工藝直到2020年才能有效量產。按照台積電的路線圖，也就就是說，台積電會在5nm上採用EUV工藝取代現在的傳統光刻。已達到在新工藝上提高密度，簡化工藝並降低成本的目的。

來到三星這邊似乎則更為激進。在之前的報道中我們看到，三星計劃在7nm製程中採用EUV光刻。在ASML與今年7月的半導體設備站上宣布突破了250瓦EUV光源的瓶頸後（光源功率(source power)──也就是傳送到掃描機以實現晶圓曝光的EUV光子(photon)數量之量測值──直接等同於生產力，晶元製造商一直以來都堅持250瓦的光源功率是達成每小時125片晶圓(WPH)生產量的必要條件，即production-ready。），三星宣布將會在2018年推出使用EUV等先進位造技術的7nm新工藝。

來到Intel方面，作為製造巨頭，英特爾在先進位程方面的引進相當克制。在早前的製程大會上，在問到EUV的布局上面，英特爾方面表示，從他們方面看來，EUV光刻的產能和配套服務，目前還不能符合量產需求，因此他們會保持對新設備的關注，在適合的時候會進行公布。

來到格芯方面，在今年六月份，格芯公布了他們的7nm進度，根據他們的Roadmap，他們將會在2018年進入7nm，但是這時候用的是DUV技術，根據他們的布局，會在2019年引入EUV技術。

三星真能壟斷EUV光刻機？

BusinessKorea的報道顯示，ASML從2000年開始就投入了EUV光刻的研究。在研發早期，三星和Intel就對ASML提供了極大的支持。

在2012年8月，三星宣布加入了ASML的客戶聯合投資計劃。根據協議規定，三星承諾在未來五年內（從2012年算起），向ASML的次時代微影技術投入2.76億歐元，占整個項目13.8億歐元籌款目標的15%。與此同時三星向ASML投資了5.03億歐元，取得ASML約3%股權。

但到了2016年，三星宣布出售價值約6.06億歐元的ASML股權，這佔了當時ASML整體股權的1.45%。也就是說三星手上的ASML股權大約剩下1.55%。

英特爾方面也加入了三星的客戶聯合投資計劃，根據當時的報道，Intel參與ASML的計劃分為兩期，第一期目標為Intel投資5.53億歐元（6.8億美元）協助ASML開發18英寸晶圓製造工具，同時Intel將以17億歐元（21億美元）的代價收購ASML公司大約10%的盤前交易已發行股票。

第二期目標還要等ASML股東批准，它包括額外的2.76億歐元（3.4億美元）的有關EUV技術的R&D研發資金，以及價值8.38億歐元（10億美元）的5%盤後交易已發行股票。屆時Intel將持有ASML 15%股份，整個產權交易價值約為25億歐元（31億美元）。

作為協議的一部分，Intel需要提前購買ASML的450mm晶圓及EUV開發、生產工具。

台積電方面也同時參與。當時消息顯示，台積電將以8.38億歐元購買ASML的5%股權，並同意在下一代光刻技術如超紫外技術和450毫米光刻設備的研發上向ASML投資2.76億歐元。不過台積電在2015年全部處理了ASML 股權，獲利6.95 億美元。

至於格芯方面，從公開信息查找，似乎他們並沒有參與這個計劃。

如果光從股權上看，則是Intel、三星、台積電三者按照從先到後，如果這些股份佔有董事會的決策權的話，那麼Intel在ASML中的話事權似乎更大，三星想一下子包攬所有的EUV設備，是否會獲得來自Intel等的阻撓，這未能盡知。

這些基於股權話事的說法是來自作者的猜測，不過按照常理，Intel和三星等投入到ASML的計劃和股份中，除了推動EUV的進展，共同受益外，在未來競購中處於領先地位，應該也是他們前赴後繼投入的一個重要原因。

當然，至於隱藏在後面的具體細則，作者未能得知，希望有知情者透露。

我們不妨從EUV之前的購買狀況來分析一下。

根據ASML的公開信息顯示， 2016年第四季度賣掉了6台EUV光刻機，而根據分析師透露，當中的五台都是賣給了台積電。

三星方面無疑是最大買主，據相關消息透露，他們已經購入了超過十台的EUV設備，並將其裝設於韓國華城市的18號生產線（Line 18）全力搶佔晶圓代工版圖。

至於英特爾方面，和他們的EUV規劃一樣，沒有消息透露他們買了多少台設備，但在2015年，有消息泄露有美商一口氣買了好幾台EUV光刻機。有人就猜測那是Intel。

至於格芯方面的具體布局依然是沒有消息源可尋。

正如開頭所說，ASML今年的EUV產能是12台，全部銷售一空，但他們在明年會將產能提升到24台。但根據ASML在7月發布的報告顯示，他們擠壓的EUV訂單已經達到了21台。考慮到現在晶圓廠的競爭情況，未來的競爭肯定會加劇的。

綜上所述，三星想一口氣買下所有的EUV光刻機，也許只是一個大膽的設想。不過考慮三星之前斥巨資壟斷了OLED生產關鍵設備供應商CanonTokki多年的產能，可以看出三星再次做出這種事也有很大可能。通過內存瘋長掙得盤滿缽滿的韓國巨頭現在真可謂是財大氣粗，況且對ASML來說，Business is business，和誰不是做生意呢？

不知道大家怎麼看到三星這個「陽謀」？

文/半導體行業觀察 李壽鵬

韓媒消息源出處：http://www.businesskorea.co.kr/english/news/ict/19605-keeping-leadership-7-nano-era-samsung-electronics-seeks-buy-next-gen-semiconductor

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