CPU和GPU晶元使用的化學元素比例是怎樣的?
01-22
比如除了硅元素,應該還有其他的元素吧,大概有哪些化學元素呢?佔多少比重呢?
宏觀來說比率相差其實不大,流片時有density檢查,也就是說每層金屬密度要在一定範圍內。
晶元本身構成的話,一般來說襯底主要是硅,以磷、硼摻雜形成不同濃度的區域,用鈦做金屬硅化物層,使得有源區和金屬層能夠確保歐姆接觸,氧化形成介電層,用氮化硅做絕緣,有源區到金屬的通孔有用鎢互聯的,金屬層和金屬層之間有鎢塞互聯,也有銅互聯工藝用大馬士革法實現銅塞。金屬互聯靠鋁和銅,但互聯引腳必須是鋁,金絲和銅粘附度不足。金屬層和金屬層之間會有聚醯亞胺做絕緣和填充,這是一種有機物。
因此總結下來按成分主要是硅》鋁、銅》鎢、鈦、氧、氮、氫。
數字電路的話元素比率實際上同種工藝都差不多的,CPU和GPU從功能來看實際上都是很典型的數字電路。只要不是Layout有特殊目的做一些特殊的設計,元素比率可以認為是一樣的
另外說純硅那個,麻煩不懂不要亂開腔。確實不知道題主問這個有什麼用,不過這個問題倒是可以當作半導體工藝趣味題來答。cpu和gpu都是基於硅半導體工藝,那麼在硅製程中需要用到哪些化學元素呢?
我現在能想到的 (16nm CMOS為例)
Si, O, P, B, N, Ge, Cu, Al
大家可以接龍補充謝邀。
有源區主要是硼或者磷,連接部分為金屬,以前鋁比較常見,現在不清楚了。有些工藝還有BF化合物。
說實話搞不懂為什麼要知道這些,難道是搞器件或者工藝的么
補充稀有金屬和 第三第四第五主族元素
稀有金屬小於1ppm大頭是硅,其他是金。
瀉藥不過我也不是太了解2333
先佔坑。有空來填坑。
您高估了我高三文科生的機械電子水平~
謝腰
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