人類歷史上第一個集成電路使用什麼儀器製作的？

德州儀器產出的第一個集成電路，裡面包含了若干個晶體管，當時沒有激光，那麼他們當時是用什麼機器做出來這樣精密的？

後來Intel的4004,8008等，裡面幾萬個晶體管，當時也都沒有激光儀器，那麼請問，到底是怎麼做上去的？謝謝了

先說TI 的第一個集成電路。

圖1就是1958年時在TI工作的Jack Kilby做出的世界上首個集成電路，是把一個小鍺片粘在一個glass slide上。整個兒的尺寸大約是3/16 in x 23/32 in x 31/32
in，上面的小鍺片大約是7/16 in x 1/16 in，具體的大小可以參考圖2中與人手指的大小對比。

圖1. 第一個集成電路(圖片來源：[1] )

圖2. 第一個集成電路與人的手指大小對比(圖片來源：[2] )

這個電路的功能是phase shift oscillator，由1個transistor（並不是題主所說的若干個），1個電容（由pn結的結電容提供）和3個電阻（由鍺的bulk resistor提供）組成，如圖3所示。

圖3. Jack Kilby的phase
shift oscillator(圖片來源：[3])

可以看出，這個電路的上器件密度還是很低的，並沒有題主想像的那麼精密。這樣的電路的圖形生成可以由人手工做出來，Jack Kilby在2000年的諾貝爾獎致辭中也提到了「Black wax was applied by hand to mask the mesas, one for the
transitor,and a larger one for a diffused region forming a distributed
resistor-capacitor network」，[4] 也就是用手塗上黑蠟來作為掩膜。

再說Intel的4004。

4004是1971年發布的，是用兩英寸的晶圓製造的，有2,300個transistors（並沒有題主所說的幾萬個那麼多），是第一個商用的CPU。[5]

至於製造4004時的圖形生成，當時已經有光刻機了，光源用的應該是汞燈。至於photomask，那個年代用的不是石英玻璃，用的是手工切割rubylith來形成圖形，看以參考圖4。

圖4. 70年代早期的手工製作photomask(圖片來源：[6])

Reference

1. Jack Kilby"s Integrated Circuit

2. Texas Instruments News Center

3. Kilby, J.S., Method of making miniaturized electronic
circuits. 1966, Google Patents.

4. Kilby, J.S., Turning potential into realities: The
invention of the integrated circuit (Nobel lecture). ChemPhysChem, 2001. 2(8‐9): p. 482-489.

5. The Story of the Intel? 4004.

6. SemiWiki.com.