請問晶圓製造車間會不會有害身體健康？

我本人沒在一家晶圓工廠里上過班。就假定有個人在一家晶圓工廠中工作，那麼這家晶圓工廠會給這個人的身體（健康）造成哪些危害？我試著來回答之。

1，薄膜工程潛在危害：刺激性及有毒氣體，金屬熏煙及氧化物，酸、鹼溶液電離及射頻輻射，雜訊及人機工程危害。另外，工藝中還會用到自然性氣體，若發生泄露或系統故障，則可能會引起火災爆炸等危險。

2，光刻工程潛在危害：該工藝要用到光阻劑、顯影劑、去光阻劑、酸液、鹼液和有機溶劑等。另有紫外線暴露、臭氧、機台雜訊和人機工程危害。

3，蝕刻工程潛在危害：濕式蝕刻常用的酸液有腐蝕性，會對人的皮膚和呼吸道造成危害。乾式蝕刻會給人帶來射頻輻射等危害。當然還有其他刺激性氣體、有毒氣體和人機工程危害。

4，擴散工程潛在危害：酸、鹼溶液、有機溶劑，刺激性及有毒氣體、高溫灼傷、火災燃燒及人機工程危害。再有機台噪音危害。

5，離子注入工程潛在危害：類似乾式蝕刻所產生的危害，在高能量的離子源下會有電擊及X射線輻射等危害。

6，氧化工程潛在危害：主要是防範爆炸與火災危害，還有紅外輻射和高頻輻射危害。

7，金屬化工程潛在危害：可能有高電壓、少量X射線和高頻輻射等危害。

簡單地說。一個人在一家晶圓工廠中工作，很多的液體、氣體，輻射和機台噪音都可能會對人體造成危害。最後這裡還是簡單地提一下。早幾年前，有家研究機構專門做過一個調查，半導體產業的員工們，往往是肌肉骨骼酸痛嚴重，主要是以酸痛為主，其中又以肩膀及腳踝酸痛為最高比率。手部接觸性皮膚炎是員工們常有的問題。

硅原料提純需用四氯硅烷之類化學藥品，區域熔煉，高頻感應加熱提純至本徵型，即小數點後9個9，然後在單晶爐拉單晶，切片拋光，用極高壓進行離子注入三價和五價元素滲雜成P型和N型材料